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四源高真空磁控溅射及无机材料蒸发镀膜设备

主要配置：

1.机械组成部分

1.1磁控溅射及无机材料蒸发镀膜真空腔室

1.2真空腔体前端锁紧方门

1.3真空腔体上端盖法兰

1.4样品衬底加热装置

1.5样品旋转，升降装置

1.6无机材料蒸发舟

1.7三源磁控射频溅射靶

1.8手动样品总挡板

1.9无机蒸发源，   独立挡板

1.10膜厚探头4个

1.11真空腔体与单元电源台架

1.12智能控制循环水箱

1.13台架上罩板，台架侧围板

2.真空组成部分

2.1高真空复合分子泵

2.2真空前级机械泵3台

2.3复合真空计

2.4高真空闸板阀

2.5高真空预抽直角阀

2.6质量流量计

2.7两路气体混合装置

2.8高真空放气阀,充气阀

2.9真空压差阀

2.10水箱分水站

3.电源组成部分

3.1总控电源

3.2样品电动旋转、升降电源

3.3照明电源

3.4双路流量计显示器

3.5射频电源2套

3.6直流电源

3.7膜厚控制仪

技术规格：

1.磁控溅射室组件

1.1真空室腔体连接蒸发源、磁控溅射源分子泵、真空规、观察窗、石英晶体探头，样品台法兰接口。腔体采用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面抛光处理。

1.2真空室上端样品台可拆卸。

1.3真空室前手动方型门，方便更换溅射靶材及蒸发舟材料。

1.4四通路水冷晶振探头，检测材料溅射及蒸发过程的速率、频率。

1.5膜厚控制仪可以对三个磁控溅射源根据材料溅射的速率，频率及功率分别进行控制。

1.6质量流量计控制氩气，氮气流量。

1.7两路气体混合装置，氩气、氮气按需要比例混合。

1.8蒸发舟可以实现对无机材料电阻蒸发。

1.9腔体可以充入纯净氮气，氩气等。

2.样品沉积升降转台机构

2.1不锈钢蒸发基片托1个，容纳样品最大尺寸：80*80mm。

2.2样品可电动操作旋转。

2.3样品可由电机驱动CF35磁力转轴驱动，转速连续可调0～30转/分钟。

2.4手动直接转轴驱动样品挡板1套。

2.5样平台可以根据操作上下升降调整距离 0-100mm

3.磁控射频溅射源  

3.1每个磁控溅射靶可独立用电源控制。

3.2适配2英寸可更换靶材。               

3.3每个靶有独立电动挡板，防止靶材溅射相互污染。

3.4每个靶角度可调整。

4.热蒸发电极组件及控制电源  

4.1蒸发水冷电极2根组成一个蒸发舟；金属蒸发舟（钨、钽）各1支。

4.2蒸发电源最大输出功率3 Kw 。

4.3电流表调整电流精度0.01 A。

4.4蒸发源之间有可拆卸挡板，防止交叉污染。

5.真空系统及真空测量

5.1分子泵                   

抽速≥600L/S 。

5.2机械泵抽速≥4L/S。

5.3极限真空指标：4.0x 10^-5Pa。

5.4实验真空指标：从大气抽至3.8x10^-4Pa＜40分钟(氮气环境)；

5.5真空室漏率：关机12小时≤20Pa。

6.真空测量及电控系统

6.1数显真空计含电阻规2只 ，量程1.0x10⁵Pa-1.0x10^-1Pa；电离规1只，量程1.0x10^-1Pa-1.0x10^-5Pa。

6.2磁控溅射直流电源功率1000W。

6.3磁控射频电源功率500W一套，1000W一套。

6.4无机蒸发电源最大输出功率3 Kw。

付款方式：合同签订后预付货款

质保期：安装验收后2年

其它要求：

1.按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；

2.提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；

3.在甲方现场验收后，2年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费。

4.厂家提供现场培训。

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合同生效后3个月

45万元

（人民币）

注：

报价超出预算金额，视为无效。